一、核心參數（EV?S200N）

• 品牌：日本 EBARA（荏原）

• 型號：EV?S200N（N 為標準型，P 為防腐型）

• 類型：多級羅茨式干式真空泵（無油）

• 抽氣速率：20,000 L/min（≈333 L/s）

• 極限壓力：0.5 Pa

• 電機功率：約 15 kW

• 材質：標準型（N），無氮氣吹掃；防腐型（P）帶吹掃

• 控制：標配 LCD 可編程控制器，支持預警與診斷

干式真空泵 主要應用領域

1. 半導體 / 微電子（最核心）

• 刻蝕、PVD/CVD 鍍膜、離子注入

• 晶圓工藝、Loadlock 預抽

• 光刻機、檢測設備

2. 平板顯示 / 光伏

• OLED/LCD 面板鍍膜、成膜

• 太陽能電池片鍍膜、工藝腔體真空

3. 科研實驗室

• 電子顯微鏡（SEM/TEM）

• 真空烘箱、脫泡、檢漏

• 薄膜制備、材料分析

4. 真空鍍膜行業

• 光學鍍膜、裝飾鍍膜、工具鍍膜

• 卷繞鍍膜、磁控濺射

5. 醫療 / 生物醫藥

• 真空冷凍干燥

• 滅菌設備、負壓系統

• 分析儀器、質譜儀

6. 化工 / 新材料

• 蒸餾、濃縮、干燥

• 反應釜、脫氣、回收

• 鋰電池極片烘干、注液前脫氣

7. 食品包裝

• 真空包裝、充氮包裝

• 肉類、熟食、電子元件防潮包裝

8. 電子元器件

• 電容、電阻、連接器封裝

• 除氣、灌封、檢漏