EV-A10-2S 荏原 EBARA 干式羅茨真空泵

一、型號(hào)釋義

• EV-A10：整機(jī)系列型號(hào)，風(fēng)冷多級(jí)干式真空泵

• 2S：?jiǎn)蜗喙╇姲姹荆⊿ingle-phase），對(duì)應(yīng)三相款 EV-A10-3S

• 適用電壓：?jiǎn)蜗?AC200~240V，電壓波動(dòng) ±10%，實(shí)驗(yàn)室市電直接可用

二、核心技術(shù)參數(shù)

1. 抽速

• 最大抽速：1000 L/min

• 大氣壓抽速：800 L/min

2. 極限真空

• 關(guān)閉氣鎮(zhèn)：1.0 Pa

• 開啟氣鎮(zhèn)：2.0 Pa

3. 水汽處理：標(biāo)配可開關(guān)氣鎮(zhèn)閥，最大水蒸氣排出量 500 g/h，適配含水工藝

4. 功率：極限真空運(yùn)行功率約 1.1 kW

5. 接口

• 進(jìn)氣：NW40

• 排氣：NW40

6. 散熱：一體式風(fēng)冷，無需水冷，無水路、無漏水風(fēng)險(xiǎn)，無塵車間 / 實(shí)驗(yàn)室均可內(nèi)置安裝

三、結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)

1. 五級(jí)非接觸羅茨轉(zhuǎn)子干式結(jié)構(gòu)，腔體與潤(rùn)滑腔隔離，無油氣污染

2. 內(nèi)嵌變頻控制，啟停穩(wěn)定、能耗低

3. 帶腳輪 + 調(diào)平底座，移動(dòng)安裝便捷

4. CE/UL 認(rèn)證，半導(dǎo)體、鋰電、光學(xué)行業(yè)通用

四、典型應(yīng)用場(chǎng)景

• 鋰電真空脫氣、注液前預(yù)抽

• 等離子清洗、薄膜沉積 Load-Lock 腔體

• 真空干燥、溶劑脫除、實(shí)驗(yàn)室真空腔體

• 頻繁破真空、反復(fù)抽大氣工況（對(duì)比渦旋泵效率更高）