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更新時間：2026-09-11
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相對的雙軸主軸呈對角線布置，既節省空間又便于維護。
所有日常操作，包括葉片更換和維護，均可通過設備正面進行。
無需側面檢修，因此設備布局更加靈活，適合狹小空間，并有助于在潔凈室中節省人工成本。
| 最大工件尺寸 | Φ 305 毫米 | |
| 最大兼容框架 | 12英寸（SEMI G74-0699） | |
| 主軸 | 轉速 | 60,000轉/分鐘 |
| 最大葉片直徑 | 安裝空間： Φ 60 毫米（2 英寸） Φ 80 毫米（3 英寸）（可選） | |
| 額定輸出 | 1.8千瓦 | |
| X軸 | 可切割系列 | 310毫米 |
| 最高速度 | 1000 毫米/秒 | |
| Y1/Y2軸 | 可切割系列 | 310毫米 |
| 最高速度 | 300 毫米/秒 | |
| 控制分辨率 | 0.078 微米 | |
| 累積準確率 | 0.002 毫米 / 310 毫米 | |
| Z1/Z2軸 | 中風 | 35毫米 |
| 解決 | 0.002 微米 | |
| 最高速度 | 80 毫米/秒 | |
| 重復性 | 0.001毫米 | |
| θ軸 | 旋轉范圍 | 380° |
| 規格 | 電壓 | 三相交流電 200V 至 220V ±10% （其他電壓可通過變壓器處理） |
| 功耗 | 6.0 千伏安（最大值） | |
| 空氣供應壓力 | 0.55至0.7兆帕 | |
| 平均空氣消耗量 | 210 升/分鐘（0.55 兆帕時） | |
| 清潔空氣平均消耗量 | 140 升/分鐘 | |
| 供水壓力（切削液等） | 0.3 至 0.5 兆帕 | |
| 最大供水流量 | 切削液：10.0 升/分鐘， 水簾：3.0 升/分鐘 ，其他：0.6 升/分鐘 | |
| 冷卻水壓力 | 0.3 至 0.5 兆帕 | |
| 冷卻水流量 | 3.4 升/分鐘（0.3 兆帕時） | |
| 排氣流量 | 5.0 立方米/分鐘或以上 | |
| 設備尺寸（寬 x 深 x 高） | 1290毫米 x 1530毫米 x 1900毫米 | |
| 設備重量 | 1360公斤 | |
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