ESA100W（荏原 EBARA 干式真空泵）

核心參數

• 抽氣速度：10000 L/min（50Hz）/12000 L/min（60Hz）

• 極限真空：0.6 Pa（2.7×10?3 mbar）

• 進氣口：ISO80；排氣口：NW40

• 功率：最大 5.2kW，極限壓力 3.4kW

• 冷卻方式：水冷，最小冷卻水流量 3.5 L/min

• 尺寸：1041×400×810 mm；重量：約 400kg

• 氮氣吹掃：軸承密封 12 L/min

核心特點

1. 兩級羅茨結構，氫氣 / 輕氣體排氣性能行業

2. 智能轉速控制，適配大氣體負載，耐惡劣工藝氣體

3. 水冷設計，適合連續長時間運行

4. 可選耐腐蝕材質、有機溶劑排氣配置

5. 帶報警、數據存儲、可編程參數設置

主要應用

• 半導體：MO?CVD、PVD、刻蝕、鍍膜

• 光伏、LED、FPD 面板制程

• 氫氣工藝、大型真空腔體、真空干燥

• 化工、精密真空設備