TG350FCAB（日本 OSAKA 大阪真空 渦輪分子泵）

型號含義

• TG350F：350L/s 系列分子泵

• C：進(jìn)氣口 CF100 法蘭

• A：風(fēng)冷

• B：內(nèi)置一體式控制器（TC353）

核心參數(shù)

• 氮?dú)獬樗伲?span style="font-style: normal; font-variant: normal; font-size-adjust: none; font-language-override: normal; font-kerning: auto; font-optical-sizing: auto; font-feature-settings: normal; font-variation-settings: normal; font-stretch: normal; font-family: ui-sans-serif, system-ui, sans-serif, "Apple Color Emoji", "Segoe UI Emoji", "Segoe UI Symbol", "Noto Color Emoji"; font-weight: 700; line-height: 24px; flex: 0 1 auto; flex-direction: row; justify-content: normal; align-items: normal; padding: 0px; margin: 0px; background-image: none; background-position: 0% 0%; background-size: auto; background-repeat: repeat; background-attachment: scroll; background-origin: padding-box; background-clip: border-box;">330 L/s（CF100），VG 法蘭版 350 L/s

• 轉(zhuǎn)速：46,000 rpm

• 極限真空：＜1×10?? Pa

• 前級接口：KF25（適配 ESA100W）

• 冷卻方式：強(qiáng)制風(fēng)冷

• 啟動(dòng)時(shí)間：2–2.5 min；停機(jī)時(shí)間：5–6.5 min

• 重量：9 kg

• 耐壓：可承受 400 次以上大氣沖擊，抗震、任意角度安裝

關(guān)鍵特點(diǎn)

1. 油脂潤滑滾珠軸承，體積小、重量輕、成本低

2. 高壓縮比，高背壓可連續(xù)運(yùn)行，適配大流量工藝

3. 自帶控制器，支持串口通訊，兼容 SEMI?S2、CE、NRTL

4. 風(fēng)冷免水冷，維護(hù)簡單，適合半導(dǎo)體、鍍膜、分析儀器